2020年光刻機唯一上市公司為智光電氣，股票代碼002169。智光電氣主要從事電網安全與控制設備、電機控制與節(jié)能設備、供用電控制與自動化設備及電力信息化系統(tǒng)研發(fā)、設計、生產和銷售。公司已建立了以測控技術、電力電子技術、通信技術和應用軟件技術為基礎的核心技術平臺，形成了面向電氣控制與自動化前沿領域的產品布局。

智光電氣產品主要包括：新型自動跟蹤補償消弧線圈及選線成套裝置、智能高壓大功率變頻調速系統(tǒng)、分布式企業(yè)級電氣監(jiān)控與能量管理系統(tǒng)以及電力信息化系統(tǒng)。這些產品廣泛應用于電力、大中型工業(yè)企業(yè)、市政建設、基礎設施等領域，能有效提高電網安全穩(wěn)定性、改善電能質量、節(jié)能降耗、提升企業(yè)電氣設備安全可靠性、提升企業(yè)能源管理水平。公司產品均被列入2007年1月23日國家發(fā)改委、科學技術部、商務部、國家知識產權局聯(lián)合發(fā)布的《當前優(yōu)先發(fā)展的高技術產業(yè)化重點領域指南（2007年度）》，其中高壓變頻調速系統(tǒng)和電氣監(jiān)控與能量管理系統(tǒng)還屬于《十一五規(guī)劃綱要》規(guī)劃的"十大節(jié)能重點工程"。